テトラアーク式溶解炉
TCA4-6
■特長
・テトラアーク式による安定した溶解結晶育成が可能
・アーク電流の精密制御と精密駆動制御 （特許 第3857098）
・クリーンな高真空用に溶接ベローの採用
・小型、省スペース設計で、清掃が容易（単アーク式溶解炉も製作致します）
製品仕様
| 型式名称 | テトラアーク式溶解炉 TCA4-6 |
| 水冷ルツボ・溶解用 | ø60(OD)×32(H)mm |
| 水冷ルツボ・ゲッター用 | ø30(OD)×25(H)mm |
| 加熱温度 | 3000℃近傍 |
| 使用圧力 | 4～7×10(3) Pa |
| 到達真空 | 10(-6) Pa |
| 引き上げ軸移動速度 | 2～20mm/hr |
| 引き上げ軸回転速度 | 2～20rpm |
| ルツボ軸回転速度 | 1～10rpm |
| 電源 | ø3 ：AC200V／20kVA ø1 ：AC100V／2kVA |