磁性薄膜作製装置
TLR-12
■特長
・作業者と作業環境を保護するため装置全体をダクト付ケースに収納
・生産用装置としての実績に基づく各種運転プログラムの組み込み易さの向上
・実績を重ねて安定した炉と制御系
製品仕様
| 型式名称 | 磁性薄膜製作装置 TLR-12 |
| ルツボ寸法(mm) | φ120(OD)×120(H) |
| 加熱方法 | 3ゾーン式抵抗加熱 |
| 加熱炉温度 | 1200℃(Max) |
| 試料軸移動速度 | 15～150mm/min |
| 試料軸移動量 | 700mm |
| 回転速度 | 10～500rpm(CW,CCW) |
| 制御方法 | 全自動システム |
| 電源 | φ3 AC200V／20kVA |