製品紹介 TCH-20

酸化物単結晶引き上げ装置
TCH-20

■特長
・前面扉式水冷ジャケットチャンバー方式により作業性が向上（特許出願中）
・装置重量の軽量化と性能向上をポイントに装置設計の徹底
・使いやすい装置作りへのたゆまぬ改良
・特殊仕様製品の製作にも積極的に対応します

TCH-20　仕様

方式	CZ	EFG
加熱温度	2100℃
ルツボサイズ	(OD)150×(H)150×(t)2.5mm(lr)
引上げ軸ストローク	700mm(max.)	900mm(max.)
引上げ軸移動速度	0.2～10mm/h
引上げ軸回転速度	60rpm	none
引上げ軸回転角度	none	±15°
引上げ軸X-Y移動ストローク	none	±15°
RFコイル移動ストローク	100mm
ロードセル測定重量	20N , 50N , 100N
RF発信機出力	50KW