テトラアーク式単結晶引上装置
TCA4-6C(コンパクト型)
■特長
・テトラアーク式による安定した溶解結晶育成が可能
・アーク電流の精密駆動制御(特許 第3857098号)
・クリーンな高真空用に溶接ベローの採用
・コンパクト型・省スペース設計で、清掃が容易
テトラアーク炉TCA4シリーズに、コンパクト型テトラアーク炉「TCA4-6C」が加わりました。
コンパクト型テトラアーク炉TCA4-6Cは、安価なテトラアーク炉とのご要望を受け、TCA4-6型の各機能と特許「アーク電流制御」はそのままに、ゲッター機能を省いてコストダウンとコンパクト化を実現しています。また、引上げ駆動部とステンレスチャンバーを一体化することで軽量化。試料の出し入れも簡単にできます。
装置は炉体・制御部、電源部、手元操作ボックスより構成しております。
大学の研究室で好評を得ております。


製品仕様
型式・名称 | TCA4-6C |
加熱温度 | 3000℃近傍 (MAX.) |
水冷ハース | ø60(OD)×27(H)mm |
アーク電流 | 800A (MAX.) 320A (連続使用時) |
引上げ軸移動速度 | 2~20mm/h |
引上げ軸回転速度 | 3~30rpm |
ルツボ軸回転速度 | 1~10rpm |
電源 | 3ø AC200V 20KVA 6A 1ø AC100V 1KVA 10A |
炉体・制御部 | 750(W)×700(D)×1900(H)mm / 250Kg |
電源部 | 650(W)×700(D)×1000(H)mm / 80Kg |