トリアーク式単結晶育成装置
TCA3-6
■特長
・トリアーク式で低コスト化が実現
・パイレックスチャンバーで観察が容易
・チャンバー上昇で試料の出し入れが容易
・小型、省スペース設計で設置が容易
■オプション
・SUS製チャンバー
・真空排気装置
・試料反転機構
製品仕様
| 型式名称 | トリアーク式単結晶育成装置 TCA3-6 |
| 加熱温度 | 約3000℃ |
| 水冷ルツボ・溶解,育成用 | φ60(OD)mm |
| 水冷ルツボ・ゲッター用（※） | φ30(OD)mm |
| ルツボ軸回転速度 | 1～10rpm |
| ルツボ軸ストローク | 50mm(手動) |
| 引き上げ軸回転速度 | 2～20rpm |
| 引き上げ軸移動速度 | 2～20mm/hr |
| 引き上げ軸早送速度 | 200mm/min |
| 引き上げ軸ストローク | 200mm |
| 到達真空度（※） | 10(-4)Pa |