製品紹介 EP10-MS

磁気シールユニット
EP10-MS

■特長
このユニットは磁気シール部とステンレスベローズの組み合わせで構成されております。結晶育成炉の各軸受け部、回転部のシール、特にクリーンな高真空仕様(X10-7torr台=X10-5pa)の軸シールには最適です。

■用途
CZ炉上下軸駆動部シール
BM炉上下軸駆動部シール
FZ炉上下軸駆動部シール
各種アーク炉上下軸シール