シリコン単結晶引き上げ装置
TCR-5C／TCR-15C （研究用、シリコン・ゲルマニウム用）
■ 特長
・実験・研究用の小型シリコン単結晶育成装置(CZ法)です。
・ステンレス製缶体内は,アルゴンガス雰囲気を制御します。
・発熱体はカーボンヒーターによる、抵抗加熱式です。
・炉内の温度制御は熱電対制御方式です。
■ 構成
1. 単結晶引き上げ炉 2. 制御盤 3. 手元装置ボックス 4. 電源ボックス
製品仕様
| 型式名称 | TCR-5C | TCR-15C |
| ルツボ寸法 | ø3in, × 3in, | ø6in, × 6in, |
| 試料チャージ量 | 350g | 2500g |
| 加熱方式 | 抵抗加熱式（カーボンヒーター） | |
| 引上げ軸ストローク | 500mm | 1200mm |
| 引上軸移動速度 | 0.5～3 mm/分 | |
| 引上軸回転速度 | 2.0～20 rpm | |
| ルツボ軸ストローク | 100mm | |
| ルツボ軸移動速度 | 0.1～1 mm/分 | |
| ルツボ軸回転速度 | 1～8 rpm | |
| 缶体サイズ | ø350×L500mm | ø400×L600mm |
| 設備電源容量 | 25 kVA | 45kVA |