縦型ブリッジマン法単結晶育成装置
TBR-3（炉体・制御一体型）
■特長
・温度勾配を精密制御します
・ルツボ移動を精密制御します
・コンパクト設計で省スペース
製品仕様
| 型式名称 | 縦型ブリッジマン法単結晶育成装置 TBR-3 |
| ルツボサイズ | ø10～30mm×(L)100mm |
| 加熱温度 | 高温部 1200℃(Max.) 低温部 1000℃(Max.) |
| 制御精度 | ±0.5℃（検出端） |
| 加熱方法 | 抵抗加熱（カンタル線） |
| ルツボ移動 | 速度 0.5～5.0mm/h ±1%FS ストローク 約500mm |
| ルツボ底温度モニター | 熱電対による |
| 外形寸法 | 1000(W)×600(D)×2030mm(H) |
| 電源 | ø1 AC-200V 2KVA 10A ø1 AC-100V 1KVA 10A |