縦型ブリッジマン法単結晶育成装置(Vertical Bridgman)
TBR-30（炉体・制御一体型）
■特長
・温度分布を精密制御します
・ルツボ移動の精密制御します
・コンパクト設計で省スペース設置
| 型式名称 | 縦型ブリッジマン法単結晶育成装置 TBR-30 |
| ルツボサイズ | ø10～30mm×L100mm |
| 加熱温度 | 高温部1200℃(Max),低温部1000℃(Max) |
| 制御精度 | ±0.5’C（検出端） |
| 加熱方法 | 抵抗加熱（カンタル線） |
| ルツボ移動 | 速度0.5～50mm/h,ストローク約500mm |
| ルツボ底温度モニター | 熱電対による |
| 外形寸法 | 1000(W)×600(D)×1750mm(H) |