酸化物単結晶引上装置
TCH-5 （小型、少量結晶育成用）
■特長
1 . 精密温度制御が可能です(0.05%FS)
2 . 装置の操作性を簡易化しています
■オプション
・前面扉式水冷ジャケットチャンバー方式も承ります。(PAT. Pend.)
・付属機器、システムが豊富です。(ADCシステム、データーロガ、ロードセル、バックアップ電源、加圧型、ルツボ軸回転等)
製品仕様表
| 加熱温度 | 2200℃(Nor.) 2300℃(Max.) |
| ルツボサイズ | ODφ50～φ75mm |
| 引き上げ軸移動量 | 600mm |
| 引き上げ軸回転数 | 1～100rpm |
| ルツボ軸移動量 | 150mm |
| 高周波電源 | 30kw/30KHz |