酸化物単結晶引き上げ装置
TCR-10（抵抗加熱式）
■特長
酸化物系、フッ化物の結晶育成の研究用及び小規模生産用仕様です。加熱源は高周波誘導加熱方式に改造も可能です。シンプルな構造に最新のメカトロニクスが盛り込まれております。ＡＤＣシステムパソコン指令にも対応可能。
※この他に、ルツボ寸法 max 200X200mm に対応可能な抵抗加熱式及び高周波加熱式の機材も用意されております。
| 形式 | TCR-10 |
| ルツボ寸法(mm) | 外径100×高さ100 |
| 加熱方法 | 3ゾーン抵抗加熱(カンタルAPM) |
| 炉内温度 | 常用最高1200℃ |
| 炉口径(mm) | 165 |
| 設備電源容量 | 13KVA |
| 引き上げ軸移動速度 | 0.1～10mm/h |
| 引き上げ軸早送速度 | 約300mm/min |
| 引き上げ軸回転速度 | 1～60rpm |
| 炉体外形寸法(mm) | W975×D700×H2450 |
| 装置総重量 | 5kN |