
酸化物単結晶引き上げ装置
形式:TCR-4
■ 特長
1. 温度の精密制御が可能
2. 精密駆動制御が可能
3. 雰囲気制御が可能
4. 研究実験用に最適
5. 小型、省スペース設計で設置が容易
■ 主な仕様
型式名称 | TCR-4 |
加熱温度 | 1250℃(max.),1200℃(nor.) |
ヒーター材質 | カンタルAPM(2ゾーン) |
炉口径 | φ106mm |
引上軸移動速度 | 0.1~5 mm/hr |
引上げ軸ストローク | 450mm |
引上軸移動早送り | 約300mm/min |
引上軸回転速度 | 0.5~30 rpm |