卓上型酸化物単結晶育成装置
TCR-3(抵抗加熱式) / TCH-3(誘導加熱式)
■特長
1.研究室及び学生実験向け小型単結晶育成装置(CZ法)です。
2.抵抗加熱式、誘導加熱式を選択できます。
3.加熱調節計には自動昇降温機能を搭載。
4.コンパクト設計により操作性が向上。省エネ型でもあります。
5.オプションの使用により以下の育成実験が可能です。
・TSSG法(キロポーラス法)
・BM法(ルツボ吊り下げ方式)
・LPE法(ディッピング法)


製品仕様
型式・名称 | TCR-3 | TCH-3 |
加熱方式 | 抵抗加熱(金属ヒータ) | 誘導加熱(高周波発振機) |
加熱温度 | 1200℃ | 1800℃ |
ルツボサイズ | ø 30(OD) ×30(H)mm | |
炉心管サイズ | ø 61(ID) ×450(H)mm | |
引上ストローク | 350mm | |
移動速度 | 1~10mm/h | |
回転速度 | 3~30rpm | |
炉内雰囲気 | Ar 又はN2 | |
設備電源容量 | 1ø AC200V 4KVA 20A | 1ø AC200V 6KVA 30A |
外形サイズ(mm) | W700×D500×H1125 | W750×D650×H1950 |
オプション | ロードセル(20N用) |